供应白光干涉仪
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技术参数
测量头
标准规格配置50×/0.8物镜：
?光源 卤素灯
?测量范围（带有内置的步进电机） [mm] 50
?用压电驱动时的测量范围 [μm] 100/150
?垂直分辨率 [nm] ≥1
?横向分辨率 [μm] ≥1
?工作距离 [mm] 3.4
?视场 [μm] 250×250
?图像尺寸 [象素] 780×560
测量工作台
?位移范围XY（Z） [mm] 50（ 200）
?最小步距 [μm] 1
技术文章
此仪器没有任何技术文章
主要特点
用途
1）粗糙和光滑表面的显微研究和测试
2）产品凸凹结构构图
3）特殊要求的用户化型号
特点
1) 采用最新综合技术的结晶，与位于Stuttgart的奔驰公司合作研制
2) 实际意义上的免维护设备
3) 实现对光滑和粗糙表面的测量
4) 具有快速的物镜切换功能
5) 横向分辨率接近1μm
6) 垂直分辨率可达1nm
7) 测量结果与色彩和材料无关
8) 能实现在秒级范围内的快速测量
9) 不用钉合而可达到测量区域微1cm2的特殊型号可供选择
10)用于在线测量的OEM配套部件
优点
1) 表面结构的快速分析
2) 不受材料性能影响的测量结果
3) 自动化的数据采集和评估
4) 用户化系统的配置
5) 人机控制的操作
6) 非常紧凑的尺寸
7) 大的测量范围
8) 可定价的预算，价格合理
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